多角バレルスパッタリング装置・多角バレルプラズマ化学蒸着装置・多角バレルプラズマ表面改質装置

多角バレルスパッタリング法、多角バレルプラズマ化学蒸着法、多角バレルプラズマ表面改質法は、微粒子表面の均一修飾、改質をナノレベルで制御できる装置です。
この特長により、本法は世界で初めて「微粒子表面のデザイン」を可能にした技術であり、種々の機能性微粒子材料（触媒、電池材料など）の高性能化に有用です。