グロー放電装置

種々の材料に水素同位体や希ガス等のプラズマを曝露し、材料の表面と水素同位体との相互作用に関する情報を得るために、付帯設備として試料加熱機構や試料から脱離する気体を分析するための質量分析計を装備した装置が設置されています。